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VOD-90晶圆芯片高温烘箱400度真空充氮烤箱

VOD-90晶圆芯片高温烘箱400度真空充氮烤箱
本产品适用于半导体、电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门作无氧化干燥、脱泡、固化、焊接、退火等高温处理。
产品型号:
生产地址: 上海
厂商性质: 生产厂家
发布时间: 2021-05-20

产品概述

品牌其他品牌应用领域化工,石油,电子,航天,电气

VOD-90晶圆芯片高温烘箱400度真空充氮烤箱

本产品适用于半导体、电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门作无氧化干燥、脱泡、固化、焊接、退火等高温处理。

型号

VOD-90

VOD-210

VOD-216

真空度

≤10 pa

电源

AC380V 3φ 50HZ

功率(KW)

12

18

20

工作环境温度

 

性能

温度范围

RT+10℃~450

升温时间

2 /minute~4 ℃/minute

降温时间

2 /minute~4 ℃/minute

(400℃降至100℃,客户需配冷却塔)

结构

外壳

冷扎碳钢板,经防锈处理后静电喷塑,耐划伤

内胆

5mm厚,SUS304不锈钢,不锈钢内外表面抛光

保温材料

厚度150毫米硅酸保温棉,保温性能良好

箱门

真空密封紧迫;门缝自带高温保护.(高温状态下使用,为耗品,建议2-3个月更换一次)

真空泵

LEYBOLD真空泵.(客户可自行购真空泵,或者制定真空泵型号);

加热系统

四面辐射加热

电器系统

系统采用PLC控制,加热启停、冷却启停、真空泵启停、充氮气启停; 

温控输出

SSR输出,欧姆龙继电器,固态继电器  

安全保护

加热电流过流、系统短路保护、电压过压保护、真空泵过负载、

缺相保护、电炉超温报警等功能

内容积(L))

91

215

252

内部尺寸(㎜)

W450×D450×H450

W560×D640×H600

W700×D600×H600

外部尺寸(㎜)

W800×D800×H1715

W910×D990×H1865

W1050×D950×H1865

VOD-90晶圆芯片高温烘箱400度真空充氮烤箱

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