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无尘无氧烘箱的工艺要求

发布日期: 2022-04-15
浏览人气: 79
   无尘无氧烘箱适用于半导体、光电元件、能原材料、通讯产品、机电产品等作无氧化干燥、固化、焊接、退火等高温处理。
  无氧烘箱的工艺要求:
  1.在外延片表面上涂覆光敏BCB胶,采用光刻的方法在外延片表面形成光敏BCB胶图形;
  2.采用等离子体反应刻蚀处理外延片表面的光敏BCB胶;
  3.将刻蚀后的外延片放入真空无氧烘箱中,通入N2→真空置换后,采用多升温保温的方式,在规定的时间从室温升至一温度阶段,并在该温度段保温1-2h,再在规定的时间从一温度升至第二温度阶段,并在该温度段保温一定的时间;
  4.随后增通过辅助的降温系统(水冷和风冷),将退火炉的温度降至80度左右,完成固化。
  无氧烘箱是一种提供高温、低氧、洁净环境的特殊制程设备。烘箱内部为不锈钢结构,全部采用无尘材料,箱内可充氮、真空,使烘箱工作室内处于低氧、洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制,并有自动恒温及时间控制装置,曲线升温、恒温、快速降温。并附设有超温断开加热、氧含量检测、辅助降温装置及报警电路,使用安全。
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