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晶圆片脱氧高温烘箱10pa真空氮气烤箱

晶圆片脱氧高温烘箱10pa真空氮气烤箱
产品型号: VOD-210
生产地址: 上海
厂商性质: 生产厂家
发布时间: 2021-05-19

产品概述

品牌其他品牌应用领域医疗卫生,化工,生物产业,石油,电子

晶圆片快速脱氧高温烘箱10pa真空高温氮气烤箱订制

产品特点:

  1. 迅速脱氧:该箱内胆采用不锈钢制造,箱壁接缝全部采用氩弧焊焊接,密封性能,能快速脱氧;
  2. 高效率:稳定和快速的升温性能,有助于提高产品质量和效率;
  3. 保温节能:箱体与工作室之间填充高密度纤维棉作保温材料,有效保湿节能;
  4. 密封性好:箱门与工作室外框设有耐高温无尘密封条和压紧装置,有效地保证了箱体的密封性能;
  5. 置物架:工作室内设计可抽取的载物网板;
  6. 美观简洁:设备外形美观,操作简便,控温灵敏准确;

主要技术参数:

1电源:AC380V 3φ 50HZ 18KW

2工作尺寸:W560×D640×H600

   外形尺寸:W910×D990×H1865

3温度范围:RT+10℃~450

4升温速率:2 ℃/minute~4 ℃/minute

5降温速率:2 ℃/minute~4 ℃/minute(400℃降至100℃,客户需配冷却塔)

6外壁材料: 冷扎碳钢板,经防锈处理后静电喷塑,耐划伤;   

7内胆材料: 5mm厚,SUS304不锈钢,不锈钢内外表面抛光; 

8保温材料:厚度150毫米硅酸保温棉,保温性能良好;

9门:真空密封紧迫;门缝自带高温保护.(高温状态下使用,为耗品,建议2-3个月更换一次)

10真空泵: LEYBOLD真空泵.(客户可自行购真空泵,或者制定真空泵型号);

11真空度: ≤10 pa;

12加热元件:四面辐射加热;  

13电器系统:系统采用PLC控制,加热启停、冷却启停、真空泵启停、充氮气启停;   

14温控输出:SSR输出,欧姆龙继电器,固态继电器

15安全保护:加热电流过流、系统短路保护、电压过压保护、真空泵过负载、缺相保护、电炉超温报警等功能。

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