高温无尘无氧烘箱是一种集高温、无尘、无氧环境控制于一体的专业设备，广泛应用于半导体制造、电子元件、化工新材料、新能源及科研等领域。
高温无尘无氧烘箱通过精确控制温度、气体成分及洁净度，为材料处理提供理想环境。其核心特点包括：
高温控制：加热温度可适配至400℃以上，采用不锈钢异形加热器环绕工作室外壁，实现四面均匀加热，避免局部过热导致的物料损伤。
无尘环境：箱内空气封闭自循环，经耐高温高效空气过滤器反复过滤，使烘箱工作室内处于无尘状态，洁净度可达ISO 14644-1 Class 5(百级)标准。
无氧环境：通过气体置换系统(通常使用氮气或惰性气体)迅速降低氧气浓度，部分机型真空极限可达10⁻³Pa，有效抑制氧化反应。
智能化控制：集成PLC控制系统与物联网模块，实现远程监控、故障预警及数据存储导出，部分机型支持程序化运行，满足精密加工的重复性与稳定性要求。
高温无尘无氧烘箱在多个领域发挥着关键作用：
半导体制造：用于硅片、砷化镓等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤及显影后的高温烘烤，确保光刻胶黏附性及晶圆表面洁净度。
电子元件：适用于精密电子元件、光刻胶固化、PI/BCB胶高温固化烘烤等工艺，防止氧化导致的性能下降。
化工新材料：用于催化剂干燥、纳米材料处理等场景，避免热敏性成分失活及交叉污染，提升产品纯度。
新能源：在极片干燥等工序中，通过余热回收系统降低能耗，契合绿色生产需求。
科研领域：为材料退火、高温老化试验等提供稳定环境，支持前沿技术研究。
地址：常州市新北区乐山路26号2号楼
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