欢迎光临上海旦顺实业有限公司网站!
销售咨询热线:
15221841067
您的位置: 网站首页 > 技术文章 > 晶圆烘干箱的工作原理、优势与应用领域

晶圆烘干箱的工作原理、优势与应用领域

发布日期: 2023-07-13
浏览人气: 713
   晶圆烘干箱是半导体制造行业中常见的设备,用于将湿润的晶圆进行脱水和烘干。本文将介绍它的工作原理,探讨其du特优势,并深入探讨其在电子行业中广泛应用的领域。
  第一部分:工作原理
  通过气流循环系统和加温装置来完成脱水和烘干过程。
  工作过程包括进料、预处理、加温、保持恒温等步骤。首先,湿润的晶圆被放置在内部托盘上;然后,在加温状态下利用气流循环系统移除晶圆表面和内部的水分;最后,在恒定温度下保持一段时间以确保che底脱水。
  第二部分:优势
  高效能力:具有高效速度和稳定性能,能够迅速且均匀地去除晶圆上多余的水分。
  自动控制:该设备配备了精确的温度和湿度控制系统,可以根据不同需求进行智能调节,从而实现自动化操作。
  保护晶圆质量:采用无尘设计和静电消除装置,有效防止灰尘、静电等对晶圆表面产生影响,并确保高品质产品的制造。
  第三部分:应用领域
  半导体行业:广泛应用于半导体芯片制造过程中。在晶片切割之后,由于需要进行各种工序处理,在每个工序间需要将湿润的晶圆进行脱水和烘干。这样可以提高后续加工步骤中的成品率和效率。
  光伏行业:光伏电池也需要通过多道工艺来完成制造过程。其中一个关键步骤是将湿润的硅片进行烘干以去除残余水分,并为后续电极沉积等步骤做好准备。
  平板显示器行业:平板显示器生产过程中也会使用到此烘干箱。在涂布、曝光、烘焙等工序之后,需要对晶圆进行脱水和烘干以确保产品质量。
  晶圆烘干箱凭借其高效能力、自动控制和对晶圆质量的保护,在半导体及相关行业得到广泛应用。
分享到: